變形性能
柔性薄膜壓力傳感器在實際使用中經常面臨各種不同的應力環境。例如在人體表皮電子的應用中,關節的運動會使附著在表面的電子器件承受更大的拉伸應變。這對材料的柔韌性提出了更高的要求。在彎曲、拉伸和擠壓等不同類型的應變中,拉伸性能是設備性能重要的指標。在制備可伸縮傳感器時,需要電極和功能材料同時具有可伸縮性,這進一步提高了對材料的要求。有些材料雖然可以拉伸,但拉伸后性能不穩定。提高拉伸時的導電性穩定性,擴大拉伸范圍。水凝膠離子導體也具有良好的拉伸穩定性。雖然體積電阻比金屬電阻高得多,但在高張力下電阻增加幅度較小。
壓力響應范圍
大多數傳感器在正常壓力范圍內具有良好的響應性,但在低壓(低于壓力檢測限)下不響應。針對這一問題,許多研究者提出了相應的解決方案。例如,在傳感器陣列單元中引入了PZT,并設計了一種小、輕、薄、可伸縮(30%)的壓電傳感器,可以很好地貼合皮膚。由于場效應晶體管的放大效應,該傳感器具有超低的檢測限(可以檢測0.005 Pa的壓力)。顯示傳感器陣列可以感覺到由接觸非常薄的(1 mm) PDMS薄膜引起的壓力變化。
壓力響應范圍(a) 陣列式壓力傳感器。PDMS薄膜用真空鑷子夾緊并放置在傳感器上;(b)通過計算得到PDMS薄膜與傳感器接觸產生的壓力分布圖;與其他類型的傳感器相比,采用多級非穩態自補償結構的傳感器具有很寬的壓力響應范圍和更高的靈敏度。
范圍
膜壓力傳感器原始信號的 小輸出值和 大輸出值的范圍。輸出值為原始信號,即電阻值:當傳感器被設計用于硬件電路時,如轉換為ADC值,選擇合適的分壓器電阻,以保證傳感器的 大量程。
觸發力
觸發力是指能夠觸發膜壓力傳感器原始信號響應的 小壓力。同樣,與傳感器接觸的面積、材料和厚度也會影響薄膜壓力傳感器的觸發力。
精度
測量結果與真實值的一致性程度。